大基金点兵、02专项支持、主流客户验证 “芯力量·云路演”半导体设备专场强势开启

　　业内此前的这个预判会遭受疫情的考验，但设备厂商仍旧充满信心。国产设备的龙头厂商中微半导体在2020年伊始就获得了批量订单，北方华创也在今年累计完成35家客户150余台半导体设备的组装调试工作，这些都是国产设备业将崛起的大好兆头。

　　商务部最新数据显示，1-2月份我国集成电路产品出口逆势增长达10.5%。国内正在运营以及正在扩产和新建的集成电路生产线为数众多，对设备的需求量在不断扩大。同时，即将进行实质投资的大基金二期也将对包括刻蚀机、薄膜设备、测试设备、清洗设备等领域已有布局的国内企业提供强有力的支持。

　　为了展示国产半导体设备产业的最新进展，推动投资机构与行业的紧密互动，集微网将在3月25日下午15：30举办“芯力量·云路演”半导体装备专场。

　　无锡华瑛专注于世界首创的“动态薄层晶圆表面化学处理技术和设备”，针对各种芯片制造过程中晶圆表面清洗、刻蚀及表面定性等工艺所面临的挑战及半导体制造过程的ESH问题，设计制造技术领先的、低拥有成本、低资源消耗、低生产废物排放的湿处理装备。创始人具有20多年半导体制造相关的经验，拥有8项国际发明专利，40多项国内发明专利；公司与相关院所合作，承担国家半导体装备专项课题。

　　目前已推出基于“动态薄层晶圆表面化学处理技术（DTL）”的系列产品，例如针对单片晶圆与2~5寸小晶圆的去胶、腐蚀、钝化和清洗的设备；针对晶圆表面金属及化学污染的提取和检测设备等；其中部分设备已在客户工厂稳定工作2年以上，并获得“中国半导体创新产品和技术”奖。

　　公司主要从事半导体专用设备的研发、生产和销售，产品包括光刻工序涂胶显影设备（涂胶/显影机、喷胶机）和单片式湿法设备（清洗机、去胶机、湿法刻蚀机），产品可用于 6 英寸及以下单晶圆处理（如 LED芯片制造环节）及 8/12 英寸单晶圆处理（如集成电路制造前道晶圆加工及后道先进封装环节）。作为与光刻机配合进行作业的关键处理设备，公司生产的涂胶/显影机成功打破国外厂商垄断并填补国内空白，其中在 LED芯片制造及集成电路制造后道先进封装等环节，作为国内厂商主流机型已成功实现进口替代；通过多年的技术研发、实践应用积累以及持续承担国家 02重大专项，公司成功突破了应用于集成电路制造前道晶圆加工环节的涂胶显影设备技术。

　　公司专注于热电温控系统的研发应用，拥有全球控温领域美国专家领军的海外研发团队和中国科学技术大学研发项目组，是中国本土唯一进入产业规模化应用的领先者，在半导体行业同类型产品的竞争中处于绝对领先的地位。公司半导体直冷机产品已经进入国际与国内的一流晶圆厂应用。公司5G光模块制造温控产品已经完成交付认证，出货华为供应商，即将实现大规模放量。5G基站温控产品正在研发中，与中科大、中国移动合作，预计今年Q2研发完成，进行试点。

　　上海众鸿半导体设备有限公司作为上海众鸿电子科技有限公司全资子公司，于2019年01月在临港自由贸易新片区成立。众鸿的拳头产品是专用光阻涂胶显影设备，该设备广泛应用于半导体生产制造领域。成立至今已获得专利22项，与国内半导体领域的知名客户均已展开合作。众鸿集中全力进行自主品牌涂胶显影设备研发，从配件单元，到整机组装调试，自动化控制软件，智能控制系统等已全部完成，且各项指标均为国内先进水平标准，专利在陆续申请中。

　　陈克禄先生先后在上海浦东高新技术投资咨询有限公司、联芯科技有限公司、大唐电信科技股份有限公司、上海半导体装备材料产业投资管理有限公司担任高级管理职位；目前同时担任上海凯世通半导体股份有限公司总经理。

　　毛示旻先生曾任职于硅谷应用材料公司高级研发工程师，后在硅谷早期美元基金HEDA Ventures任投资经理，主要负责深科技TMT方面的投资。个人和机构投资案例包括：纵慧芯光，Trusttoken, Akash Systems等。

　　邢凯先生2017年8月加入高捷资本，目前任投资副总裁，负责半导体投资领域。他主导投资的项目包括瑞识科技、天易合芯、亮牛半导体、芯声智能、唐晶量子、博维逻辑、毂梁微电子、胜科纳米等。加入高捷资本之前，在新加坡半导体公司ASMPT从事工艺研发工作。

　　投资机构可通过“爱集微”APP，也可以点击此处报名参与本次路演，报名成功的投资机构可按照提示下载会议系统，当日14：45，根据得到的会议ID与密码连线进入云路演现场。

　　3.活动当天上午10点前往【爱集微app】-【我的会议】-【票券】确认参会资格和信息，或查收短信

　　5.会议开始前15分钟，登陆【腾讯会议】输入会议号及会议密码进入参加会议

　　注：融资企业将选择部分投资机构进行第二轮的1V多的小范围路演，集微网将及时提供详细信息给投资机构。